微型真空高低温探针台 光学电学探针台 材料加热处理

真空腔体测试腔,材料加热处理探针台,光学电学探针台

台面四周装有微型3轴可移动钨钢探针，特别适合微小未封装的叉指电极等传感器测试。该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械泵可达＜5Pa分子泵可达＜-3Pa。真空信号连接处使用**级别真空电极信号接头，**气密性及抗干扰性能。使用时将需将待检测的器件方在加热台面，探针良好处由3轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测试电学信号。三：主要技术要求 1．加热温度：高温型：高温～400℃ 高低温型 -190℃～400℃ 2．温控误差：±1℃