技术特性
◆采用动态气体混合法,具有即混即用的特点,使气体混合更均匀
◆在额定范围内输入压力的波动,以及输出流量变化,配比精度保持不变
◆配气过程直观,调整便捷
◆为纯机器结构,使用寿命长,
◆气体混合精度高
◆可实现双元或多元气体同步混合
◆混气过程复现性优良,比例稳定
应用范围:
1.半导体制造行业中气体流量控制
2.各种真空镀膜设备
3.特种材料表面处理
4.气体燃烧控制
5.混和配气系统
6.泄漏探测系统
7.环境检测与分析设备
8.分析仪器的气体流量计量与控制
9.、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所