高校实验室真空腔体测试腔 高温加热制冷探针台详细内容
真空腔体测试腔主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台,台面为φ100mm,台面较高可升温到较高350℃。
该腔体设计有进气口和抽真空接口和2-4芯信号真空电极,可选用6芯电极。
使用时将需检测的器件固定在加热台上,由内部探针行将样品电极引入腔体的信号线连接到外部测试仪器,外部信号线连接测试仪器来测试电子信号
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