真空高温针台室温到 400℃ 低温室温到-190℃ 非标定做

技术参数；

真空腔体

类型

高温室温到 400℃ 低温室温到-190℃ 非标定做

腔体材质

铝合金

腔体内尺寸

167mmX57mmX33mm

腔体重量

约 2.6KG

腔体上视窗尺寸

Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）

腔体抽气口

KF16 法兰（其余接口规格可转接）

腔体进气口

公制 3mm 6mm 气管接头 英制 1/8mm 1/4mm 气管接头可选

腔体冷却方式

腔体水冷+上盖气冷

腔体水冷接口

6mm 快拧 或 6mm 快插

腔体正压

≤0.05MPa

腔体真空度

机械泵≤5Pa （

5 分钟） 分子泵≤5E-3Pa（

30 分钟）

样品台

样品台材质

不锈钢+无氧铜夹具

样品台尺寸

26x26mm 无氧铜夹具根据样品定制 热台间隙 0-10mm 调节范围

样品台加热方式

电阻加热 流速制冷

样品台-视窗 距离

15mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）

样品台测温传感器

PT100 型热电阻

样品台温度

室温到 400℃

样品台测温误差

±0.5℃

样品台升温速率

高温 20℃/min 较大值 低温 10℃/min

温控仪

温度显示

7 寸人机界面

温控类型

标准 PID 温控 +自整定

温度分辨率

0.1℃

温控精度

±0.5℃

温度信号输入类型

PT100 （可选 K S B 型热电偶）