-
郑州科创实验仪器设备有限公司
主营：高低温实验箱,环境模拟实验设备 - 15515545802
郑州科创实验仪器设备有限公司
主营：高低温实验箱,环境模拟实验设备
3
小型溅射仪
KT-Z1650PVD是一款小型台式溅射功率可控磁控溅射仪，仪器虽小功能齐全，配备有电压 电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率，可对大部分金属进行均匀物理沉积，真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜。
| 设备名称 | 小型溅射仪 |
| 控制方式 | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
| 工作电源 | 直流溅射电源 |
| 镀膜功能 | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
| 功率 | ≤1000W |
| 输出电压电流 | 电压≤1000V 电流≤500mA |
| 真空 | 机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa |
| 溅射真空 | ≤10Pa |
| 挡板类型 | 电控 |
| 真空腔室 | 石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm |
| 样品台 | 可旋转φ62 （可安装φ50基底） |