KT-S2DQX型等离子清洗机电源属于150W 13.56MHz的射频电源。作为一种精密干法清洗设备,主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗,塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。
该清洗机内置高纯石英仓体,容积为2升。采用了新型的外观结构设计和固态电源技术,使其有效容积增大,不同真空 气体环境下容易匹配,且控制频率稳定。真空仓门有观察窗,可直观物体的处理过程,其射频电源与控制都组装在一个机箱内,即减少了空间的占用,更便于操作和放置,同时与大型清洗机相比较,从检测功能与控制功能的设置上均可一个面板上操作,特别适用科学实验 样品清洗 和教学。
三:主要技术要求
1:供电电源 | AC220V(AC110V可选) |
2:工作电流 | 整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) |
3:射频电源功率 | 150W |
4:射频频率 | 13.56MHz |
5:特性阻抗 | 50欧姆,手动匹配 |
6:耦合方式 | 电容耦合 |
7:真空度 | ≤50Pa |
8:腔体材质 | 高纯石英 |
9:腔体容积 | 2L(内径110MMX深度220MM) |
10:观察窗内径 | Φ50 |
11:气体流量 | 0—50ml/min(其他量程可选) |
12:过程控制 | 过程手动控制 |
13:清洗时间 | 手动开关 |